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半导体厂房净化车间的建设要求

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发表于 2024-6-24 15:46:22 | 显示全部楼层 |阅读模式
半导体厂房净化车间在设计和运行上有一系列严格的要求,以确保生产过程中的产品质量和稳定性。以下,我们来简单聊一聊半导体净化车间的要求。
一、洁净度要求
半导体生产过程中对空气中的微粒和有害气体含量要求极高,一般要求ISO 5级或更高级别,洁净度的维持需要依靠高效过滤系统、正压控制、气流组织等措施来实现。

二、温湿度控制
温度和湿度的波动可能会对半导体材料和设备的性能产生影响,导致产品质量下降。因此需要配备精密的温湿度控制系统,确保生产环境的稳定。
一般来说,温湿度需要达到以下标准
【温度控制在22℃±2℃,相对湿度需要控制在50%±5%RH(或50-60%RH)】

三、微振动控制
半导体生产过程中对空气中的微粒和有害气体含量要求极高,一般要求ISO 5级或更高级别,洁净度的维持需要依靠高效过滤系统、正压控制、气流组织等措施来实现。

四、空气净化与通风
空气净化系统通常采用初效、中效和高效过滤器组合,以去除空气中的颗粒物和有害气体。通风系统则需要确保空气流通性良好,避免死角和涡流的形成。

五、静电控制
这包括使用防静电地板、防静电工作台、防静电服装等,以减少静电对产品和设备的影响。

六、设备和人员要求
净化车间内的设备需要具有高度的稳定性和可靠性,以减少故障和维修次数。人员则需要经过专业培训,了解净化车间的运行要求和操作规范,以确保生产过程的顺利进行。

奥宣净化,18年行业专业经验,为众多半导体企业提供洁净室整体解决方案。
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