白光干涉仪（三维光学轮廓仪）原理及应用介绍

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原理

照明光束经半反半透分光镜分成两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光相互干涉，在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条纹出现的位置计算出被测样品的相对高度，从而得到样品表面的三维尺寸信息。如下图所示。

三维光学轮廓仪的优点

非接触式测量，不损伤样品；

测试效率高，几秒钟成像，自动分析结果；

高度方向分辨率高，在不同物镜下均可达0.1nm，实现亚纳米级的测量；

优异的重复性；

分析功能强大，简便易用；

优异的扩展性。

白光干涉仪的作用

可以进行膜厚测量，沟槽测量，翘曲分析，表面粗糙度测量，表面高度及盲孔测量，样品表面图案尺寸测量等。广泛应用于半导体，光学器件，太阳能电池，MEMS，生命科学，材料学等行业。

布鲁克白光干涉仪介绍

WYKO白光干涉仪诞生于1982年，2010年加入布鲁克，与布鲁克强强联合，经过40多年技术不断发展及革新，布鲁克白光干涉仪已经逐步在行业中内有良好口碑。且：

3项美国R&D100大奖

6项
PhotonicsCircleofExcellenceAwards大奖

根据不同的应用场景及样品情况，布鲁克有以下等多个型号供用户选择：

ContourX-100

ContourX-200

ContourX-500

ContourX-1000

NPFLEX-1000

ContourSP

应用及效果

布鲁克白光干涉仪的应用及效果

表面粗糙度测量

表面高度测量

表面高度及盲孔测量

沟槽自动分析

三维实时测量

表面翘曲测量

软件界面分析

布鲁克白光干涉仪因其操作简便，分辨率及重复性良好，软件分析功能强大，且售后服务专业及时等优点，从而成为形貌测量工程师的选择，并被广泛运用于半导体，光学器件，太阳能，微电子，材料学等各个行业。