光谱共焦传感器应用领域及范围ERT光谱共焦测量系统适用于3D粗糙度、尺寸测量和3D形貌测量等测量任务。立仪科技光谱共焦厂家说广泛应用于微观精密测量领域:
1.玻璃(浮法玻璃在线厚度检测,3D测量)
2.微电子(粗糙度,3D测量,缺陷检测)
3.机械(粗糙度,摩擦磨损,3D测量,腐蚀分析)
4.光学镜片(粗糙度,3D测量)
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