洁净室中各种空气过滤器的功能
各种空气过滤器在洁净室中都具有一定的功能，其功能就决定了其作用和使用范围。对其选用正确、使用合理，就能充分发挥功能，起到应起的作用；如果选用不当、使用不合理，不仅不能发挥其作用，有时还会产生相反的后果。各类空气过滤器的功能和作用主要是：
初效过滤器的功能是去除≥5μm 的尘埃粒子，在净化空调系统中作为预过滤器，其作用是保护中效、高效过滤器和空调箱内的其他配件，以延长它们的使用寿命。
中效过滤器的功能是去除≥1.0μm的尘埃粒子，在净化空调系统中作为中间过滤器，作用是减少高效过滤器的负荷，延长高效过滤器和空调箱内配件的使用寿命。
高中效过滤器的功能是去除≥1.0μm的尘埃粒子，在净化空调系统中作为中间过滤器，在一般通风系统中可作为终端过滤器使用。
亚高效过滤器的功能是去除≥0.5μm的尘埃粒子，在净化空调系统中作为中间过滤器，在低级别净化系统中可作为终端过滤器使用。
高效过滤器是净化空调系统中的终端过滤器，它的功能是去除≥0.3um的尘埃粒子，达到净化的目的，是洁净室必备的净化设备。
超高效过滤器的功能是去除≥0.1μm的尘埃粒子，是建造高级别洁净室的必备净化设备，是洁净室的终端净化设备。
化学过滤器的功能是去除可能存在于洁净室新风或循环风中的化学污染物，是一些电子产品生产用洁净厂房应设在空调机组或末端的空气过滤设备。
风机过滤机组（FFU）是将风机和过滤器（高效过滤器HEPA或超高效过滤器ULPA）箱体、控制单元等组合在一起构成的自身能提供动力的末端净化设备。过去在洁净工程中常用的带风机的高效过滤器的送风口、自净器、层流罩等都是FFU的相似装置，但现在所说的FFU是具有标准模数尺寸，能按模数组合起来实现高级别洁净室的净化单元设备。
目前，国内外常用的模数有1200mm×600mm(4ft× 2ft)、1200mm× 900mm (4ft × 3ft)、1200mm×1200mm（4ft×4ft），其厚度多在200～400mm。FFU一般由以下四部分组成：风机、过滤器、机壳、控制单元。
FFU采用的风机可分为：外转子后倾板形或扭曲形叶片的小风机；内转子前倾多叶片的小风机。两者各有其优缺点。风机的电动机又有单相和三相多速交流电动机和直流电动机之分，一般直流电动机调速方便、节能且价格昂贵，而交流电动机调速性能较差。一般使用电压可为220V和380V的电源。
过滤器包括FFU吸入口的预过滤器和终端的高效过滤器（HEPA）或超高效过滤器（ULPA）。这些过滤器最好采用低阻高效的产品。奥宣净化生产厂家在机壳内做了各种形式的消声和气流分配研究，以求降低内阻、提高余压、减少噪声。电器控制单元是实现FFU自动化、节能化和维护管理方便的重要配件。
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